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TCAD之发展,伴随着半导体器件和集成电路技术之潮,可谓同样人才辈出、成果斐然。此处以流水帐的方式简单介绍一下TCAD江湖的历史脉络,以作为《R&D工程师的神器-TCAD》的补充。 先说器件仿真,早在1964年,Hermann Gummel(BJT的G...

半导体制造
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