最早的《专题1》讲的是光刻入门,其实就是个概念。后面逐渐各项制程都慢慢进入第二轮稍微深入一点,希望能够把书本理论讲完吧。黄光我做的比较少,还是以前调机的时候David天天逼着我去搞Nikon G7,还要拿个摇杆手动对位,X,Y, Theta...

今天比较累,10点刚下班。还是写吧,马上要周末了。主题依然是单向工艺,离子植入(Ion Implantation)。 我们一直在讲P-Si和N-Si,里面掺了硼或者磷。那么这些掺杂的东西怎么进去的?早期都是扩散进去的,把掺杂的东西涂在wafer表面,...

很久没有讲制造了,今天继续吧。发现我这个人老没逻辑了,想起一出是一出,大家多多包涵或给我建议。 今天的主题是扩散(diffusion),也有说炉管的,因为这个process都是要用到炉管的(那时候开玩笑说我是烧炉子的,就是干这个的。我刚...

编者注: Etch是PIE不得不好好学习的课程,玄机太多了。我曾经花太多时间研究这玩意,结果连皮毛都碰不上,每次跟人家讨论还是云里雾里~~~感谢Joph Chen,曾经的ETCH专家。 如果把黄光比作是拍照,那他就是完成了底片的功能,还需要蚀...

编者按:得益于刚毕业时候在方正遇到第一位副总David_Lin (林大野), 他是一位有修养很博学的人,毕生钻研清洗,每次和我聊天都聊清洗,为了和他有话题也让他觉得我有在好好学,我几乎通读了所有清洗的材料。这是我学的最多的一道proce...

ThinFilm(薄膜)主要包含CVD和PVD,CVD(Chemical Vapor Deposition)主要依靠反应气体在等离子体电离能量下,化学分解反应,主要用语后端温度比较低(~400,450C)。而PVD(Physical Vapor Deposition)主要是用来金属沉积,因为很少有金属...

  随着半导体特征尺寸(Moore's Law)下降,需要越来越小的波长得到更小的曝光线宽(大波长容易衍射)。5、6寸时代都是g-line/i-line,8寸开始i-line/DUV了。 HMDS是一种蒸汽,在Coat光阻之前必须在HMDS蒸气中熏一会,有助于光阻的表...

生产早会,云集各营运部门的精英,听制造部报告各项指标,听厂长review,您是否云里雾里不知所云?如果看过财务报表,其实大同小异,都是关系到公司管理营运的技术指标,这里我给您做个扫盲吧。 1、WIP: Wafer in Process, 指已经下...

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